Som vi alla vet finns det bara en tillverkare i världen som kan producera EUV-litografi, det är Nederländerna ASML.
Och anledningen till att världens enda, detta beror på att ASML kommer att vara en massa nyckeltillverkare samlade, som det tyska optikföretaget Zeiss (Zeiss), och sedan USA Cymer, och sedan tyska Tom Fast Group (TRUMPF) ) och så vidare.
ASML har knutit dessa tillverkare till sin vagn genom investeringar, förvärv, aktieinnehav, etablering av forskningscentra och så vidare, och dessa tillverkare, förmodligen de enda tillverkarna i världen som kan producera dessa produkter, så i slutändan är det bara ASML som kan producera EUV-litografi i världen.
Men nyligen sprang en viktig försörjningskedja av ASML till Shenzhen, Kina för att bygga en fabrik, dess dotterbolag i Shenzhen bosatte sig i Baoan Sino-German (Europa) Industrial Demonstration Park.
Denna tillverkare är Tysklands Tom Fast Group (TRUMPF), det är ASML:s EUV-litografi, världens enda leverantör av laserkällor.
TRUMPF-produkter i EUV-litografin, hur viktigt? Låt mig först förklara principen för EUV-litografi, du kommer att förstå.
Principen för EUV-litografi, för att uttrycka det enkelt, är centrerad på tre huvudsystem, EUV UV-ljuskällassystem, objektivlinssystem och bordssystem.
Den specifika processen är att använda lasern för att excitera en 13,5 nm våglängd av extremt ultraviolett ljus, och sedan efter korrigering för att bilda en kontrollerad ljusstråle, och sedan projiceras denna ljusstråle på fotomaskbordet och projiceras sedan genom objektivet spegel till exponeringsbordet och etsade slutligen ut kretsen på kiselskivan belagd med fotoresist.
Hur ett av EUV UV-ljuskällssystemen erhålls är genom att bombardera en tenn (Sn) metalldroppe med en 30 kW effekt CO2-laser, förånga den till ett plasma och slutligen erhålla EUV-ljuset med en våglängd på 13,5 nm.
Denna 30 kW CO2-laser tillhandahålls av TRUMPF, den enda i sitt slag i världen.
Underskatta inte denna CO2-laser, den har 457 329 delar, kabellängden i systemet är upp till 7 322 meter, och vikten är 17 090 kg, vilket är en av de viktigaste kärnkomponenterna inom EUV-litografi.
Nu sprang TRUMPF till Kina för att bygga en fabrik, avsikten är tydlig, det vill säga optimistisk om den kinesiska lasermarknaden, och ännu mer långsiktig syn, optimistisk om den kinesiska litografimarknaden, kan framtiden samarbeta med Kina för att bygga EUV litografi .
Faktum är att det redan finns mer än en ASML-försörjningskedja som kör till Kina för att bygga en fabrik, innan det finns KMWE och andra tillverkare, även till Kina för att bygga en fabrik.
Enligt den nuvarande trenden kan vi optimistiskt förvänta oss att det inte kan dröja länge innan Kinas litografiteknik kommer att vara ett stort steg framåt, och även volymen av produktionen EUV litografi, kan också se fram emot, tror du?





